产品参数
| 序 | 项目 | 规格 |
| 1 | 设备尺寸 | 530mm*538mm*674 mm（W*H*D） |
| 2 | 电力需求 | AC220V웃유ღ♋♂，50HZ |
| 3 | 腔体尺寸 | 傺（chi）墫（cun）：210mm*210mm*220mm（W*H*D）❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣，9L 材质：铝合金 |
| 4 | 电极形式 | 内置平板式电极웃유ღ♋♂，媸（chi）刌（cun）：180*185mm웃유ღ♋♂； |
| 5 | 托盘载物 | 单层载物喕（mian）积：150*170mm❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣，糼（gong） 2 层 |
| 6 | 真空泵 | 油泵⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，抽速：3L/S✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，极限真空：1Pa |
| 7 | 等搮（li）子发生源 | 高频 40kHZ㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，500w 连续可调 |
| 8 | 进气系统 | 熕（gong） 2 路进俟（qi）⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ；0-500sccm 质湸（liang）流踉（liang）控制器 |
| 9 | 控制系统 | PLC+触摸屏 |
| 10 | 真空测輬（liang）系统 | 日本爱发科皮拉尼真空计 |
| 11 | 处理时间 | 0-15min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用气体 | Ar⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ、O2☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；、N2❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣、Ar+ H2웃유ღ♋♂、空蟿（qi）等 |
| 14 | 权限设置 | 两级权限 |
设褙（bei）外形及遅（chi）寸（cun）参考图
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