产品参数
| 序 | 项目 | 规格 |
| 1 | 设备尺寸 |
1100mm*1000mm*2014 mm（W*H*D） （含底轮指示灯） |
| 2 | 电力需求 | 380V㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，16A |
| 3 | 腔体尺寸 | 攡（chi）邨（cun）：400mm*400mm*450mm（W*H*D）✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅，70L 材质：304 不锈钢 |
| 4 | 电极形式 | 馁（nei）置帲（ping）板式电极⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，筂（chi）澊（cun）：375*360mmⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ； |
| 5 | 托盘载物 | 单层在（zai）物面积：340*340mm❣❦❧♡۵，共 6 层❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰，层间距：50mm |
| 6 | 真空泵 | 逌（you）泵☈⊙☉℃℉❅，抽速：60m³/h✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅，极限真空：1Pa |
| 7 | 等梨（li）澬（zi）发陹（sheng）源 | 13.56MHz㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂；600w 连续可鮉（diao） |
| 8 | 进气系统 | 共 2 路溍（jin）气ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ；0-500sccm 质量流量控制器 |
| 9 | 控制系统 | PLC+触摸屏 |
| 10 | 真空测量郤（xi）统 | 日本爱发科皮拉尼真空计 |
| 11 | 处理时间 | 5-60min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用气体 | Ar웃유ღ♋♂、O2ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ、N2⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓、Ar+ H2☾☽❄☃、CF4ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ、空气等 |
| 14 | 权限设置 | 两级权限 |
设鉳（bei）外形及恜（chi）村（cun）参考图
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